SHINSUNG過濾單元EFU系列介紹
設備風扇過濾單元（EFU）
產品信息
在半導體和 FPD 生產設備的頂部或側面
安裝它是為了保持設備內部的壓力并提供清潔的空氣，以保持設備內部的清潔。
應用領域
ICR 潔凈室、ME 設備、腔室
Equipment Fan Filter Unit (EFU)
Product information
On top or side of semiconductor and FPD production equipment
It is installed to maintain the pressure inside the equipment and supply clean air to keep the inside of the equipment clean.
Field of application
ICR clean room, ME equipment, chamber
SHINSUNG過濾單元其他常用型號：
SHINSUNG EFU500OBL
SHINSUNG Filter Unit NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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