SHINSUNG過濾單元EFU系列介紹
設(shè)備風(fēng)扇過濾單元（EFU）
產(chǎn)品信息
在半導(dǎo)體和 FPD 生產(chǎn)設(shè)備的頂部或側(cè)面
安裝它是為了保持設(shè)備內(nèi)部的壓力并提供清潔的空氣，以保持設(shè)備內(nèi)部的清潔。
應(yīng)用領(lǐng)域
ICR 潔凈室、ME 設(shè)備、腔室
Equipment Fan Filter Unit (EFU)
Product information
On top or side of semiconductor and FPD production equipment
It is installed to maintain the pressure inside the equipment and supply clean air to keep the inside of the equipment clean.
Field of application
ICR clean room, ME equipment, chamber
SHINSUNG過濾單元其他常用型號：
SHINSUNG EFU5001BL
SHINSUNG EFU5000HBL
SHINSUNG Filter Unit NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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